高精度。各種尺寸，圖形訂制。材質(zhì)包含：玻璃、石英、陶瓷、菲林、相紙、金屬基材可選。
玻璃標(biāo)定板-光刻工藝，標(biāo)準(zhǔn)精度單個(gè)圖案物理誤差在1μm以?xún)?nèi)，相鄰圖案物理誤差±1μm。
陶瓷標(biāo)定板-漫反射，杜絕反光，單個(gè)圖案精度物理誤差在1μm以?xún)?nèi)，相鄰圖案物理誤差±1μm。
主要特點(diǎn)
國(guó)際通用的測(cè)試基準(zhǔn)。
Halcon 標(biāo)定板標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格：
|
Halcan
|
CHG-038-3.0 |
外形尺寸38*38；有邊框圖形尺寸25.6*25.6； 圓點(diǎn)直徑1.5；圓點(diǎn)中心距3.0 |
|
CHG-050-4.0 |
外形尺寸50*50；有邊框圖形尺寸34*34； 圓點(diǎn)直徑2.0；圓點(diǎn)中心距4.0 |
|
|
CHG-076-6.0 |
外形尺寸76*76；有邊框圖形尺寸51*51； 圓點(diǎn)直徑3.0；圓點(diǎn)中心距6.0 |
|
|
CHG-100-8.0 |
外形尺寸100*100；有邊框圖形尺寸68*68； 圓點(diǎn)直徑4.0；圓點(diǎn)中心距8.0 |
