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產(chǎn)品中心
PRODUCT CENTER
IC五面檢測模組
利用物方遠心光路+反射鏡轉(zhuǎn)折原理,同時對IC產(chǎn)品的5個面(正面及4個側(cè)面)成像;
內(nèi)置多層光源,能同時對IC的正面及側(cè)面打出不同的單色光,突顯正面及側(cè)面中需要檢測的特征;
應(yīng)用場景:五面機,六面機。
型號 放大倍率β 物方工作距WD(mm) 物方最大FOV(mm) 支持CCD尺寸(?mm) 像方最佳F/# 操作
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